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Efeito do abrasivo no polimento plano
Apr 17, 2017

O efeito do abrasivo no processo de polimento plano é remover a mesa da pastilha e a película de passivação formada após a reacção química, de modo a conseguir a finalidade de achatar a mesa. Os abrasivos usados recentemente têm SiO2 coloidal, Al2O3 e CeO2 e assim por diante. O tipo de abrasivo determina a dureza e o tamanho dos grãos de moagem, afectando assim o efeito de polimento. Em experimentos de alumínio de polimento, em relação ao SiO2, Al2O3 abrasivo pode obter uma melhor mesa e flatness, mesa e arranhão, tamanho pequeno, a razão é que o colóide SiO2 tamanho abrasivo pequeno, polimento abrasivo embutido superfície wafer profundidade de pequeno e, no caso de Otimizando outros parâmetros, também pode obter alta eficiência polimento. A concentração de abrasivo irá afectar o efeito de polimento. Na experiência de alumínio de polimento, com a melhoria da concentração de abrasivo (SiO2 coloidal), a unidade ea acumulação de grãos de moagem envolvidos na moagem do número de dias aumentam, assim que a eficiência de polimento aumenta, a mesa e arranhões do tamanho de Lentamente aumentar ou básico permanecer inalterado; Mas a concentração de abrasivo é excepcional, a viscosidade do líquido de polimento é aumentada, a fluidez diminui, o efeito da camada de oxidação é formado e a eficiência de polimento diminui. O tamanho dos grãos abrasivos também afetará o efeito de polimento, quanto menor o tamanho dos grãos abrasivos, a espessura da camada de dano é pequena.